ROOKO/瑞柯 品牌
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FT-391系列手持式四探针方阻测试仪
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
一.概述
参照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，采集集成电路恒流源系统，提供便捷的操作模式，便携式外型结构，可充电式电源系统，待机时间长，上下限设定.
二.四探针薄膜电阻测试仪功能介绍
手持式外型结构适用于车间生产、品管抽检，外出、携带测量等要求测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.
三.四探针薄膜电阻测试仪技术参数
| 规格型号 | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
| 1.方块电阻范围 | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
| 2.电阻率范围 | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.显示读数 | 液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 | ||
| 5.测试方式 | 单电测量 | ||
| 6.工作电源 | 5V.1000mA | ||
| 7. 误差 | ≤4.5%（标准样片结果） | ||
| 8.选配 | 选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针; 2. | ||
FT-392系列手持式四探针测试仪
FT-392 Series hand-held four-probe tester
| 规格型号 | FT-392A | FT-392B | FT-392C |
| 1.方块电阻范围 | 0.1～2.00×102Ω/□ | 0.1～2.00×103Ω/□ | 0.1～2.00×104Ω/□ |
| 2.电阻率范围 | 0.01～2×103Ω-cm | 0.01～2×104Ω-cm | 0.01～2×105Ω-cm |
| 3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
| 4.显示读数 | 液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 | ||
| 5.测试方式 | 单电测量/ | ||
| 6.工作电源 | 5V.1000mA | ||
| 7. 误差 | ≤4.5%（标准样片结果） | ||
| 8.选配 | 选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针 | ||
