美国BM的MEMS可变形反射镜

MEMS（微机电系统）可变形镜面技术MEMS可变形反射镜

维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。

Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。

    中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。

Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。

作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。

Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业，这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。

此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。

MEMS可变形反射镜反射镜特点：

-大阵列产生高分辨率波前校正。

-*的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小

-优化设计可实现高速应用的快速波前整形

美国BM的MEMS可变形反射镜