面型精度λ/10，20J/cm2，反射率>99.5%，高面型精度反射镜

西格玛光机OptoSigma的高平整度反射镜(High Surface Accuracy Mirrors)在镀膜后表面精度可达到λ/10，该系列反射镜专为波长1064nm的ND YAG激光器以及波长248nm的更高频率激光器而设计。光学镀膜为多层电介质膜，这款多层电介质镜的入射角度是45°±3°，反射率高达R>99.5%，损伤阈值高达20J/cm2。高精度反射镜是通过优化基板材料、厚度和涂层条件实现的，其材质是熔融石英，因此，基板变厚，基板的刚性更好。

西格玛光机反射镜具备很多的标准品，同时，OptoSigma还可根据用户的需求定制生产各种反射镜，有需求的用户可联系我们为您提供更多的详细信息。OptoSigma高面型精度反射镜

面精度保证反射镜图示

高面型精度反射镜的主要特点：

- OptoSigma高精度平面反射镜的表面精度（镀膜后）比以往的标准多层电介质膜平面反射镜（TFM）更高。

- 通过使用合成熔融石英和增加基板厚度，可以提高Sigma反射镜的刚度。

- 西格玛光机反射镜包括用于紫外、YAG和其他激光器等各种波长的高反射镜。

高面型精度反射镜的注意事项：

- 该产品不提供标准表面精度数据，若是需要表面精度数据文件，则需要额外的文件制作费用，请联系我们了解详情。

- 对于多层电介质膜，入射光束的偏振态不同，反射率波长特性也不同。P偏振的反射率低于S偏振，且反射带较窄，其中，反射率由P偏振光和S偏振光的平均值来表示。

- 如果不将入射角设置为45°而使用，反射率可能会降低。

- 如果不在适用的波长上使用，反射率也可能会降低。

面精度保证反射镜的表面精度数据（参考数据）：

- 表面精度测量方法：使用Zygo激光干涉仪测量

- 表面精度测量波长：632.8nm

- 表面精确度温度：23°C±2°C

面精度保证反射镜的规格参数表：

OptoSigma高面型精度反射镜