EVG^®720

Automated SmartNIL^® UV Nanoimprint Lithography System

EVG®720   自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（大150毫米）

技术数据

EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识，能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40 nm *的纳米结构，具有的吞吐量，非常适合批量生产下一代微流体和光子器件，例如衍射光学元件（ DOEs）。  *分辨率取决于过程和模板

特征

体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度

专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术

集成式压印，UV固化脱模和工作印模制造

盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式

可选的顶部对齐

可选的迷你环境

适用于所有市售压印材料的开放平台

从研发到生产的可扩展性

系统外壳，可实现佳过程稳定性和可靠性

EVG720技术数据

晶圆直径（基板尺寸）75至150毫米

解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²

对准：可选的顶部对齐

自动分离：支持的

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持