透镜三维压印机
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520HE 纳米压印透镜三维压印机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-10-12 15:20:27
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北京亚科晨旭科技有限公司

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产品简介

EVG 520HE 热压印系统用于对热塑性基材进行高精度压印。 EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径大为200 mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。

详细介绍

EVG 520HE 热压印系统通用生产验证的热压花系统,可满足高要求。

 

技术数据

EVG520 HE半自动热压花系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。 EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径大为200 mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压花系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压花的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。

 

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压花和纳米压印应用

自动化压花工艺

EVG专有的独立对准工艺,用于光学对准的压印和压印

气动压花选项

软件控制的流程执行

 

技术数据

加热器尺寸150毫米200毫米

大基板尺寸150毫米200毫米

小基板尺寸单芯片100毫米

大接触力10、20、60、100 kN

高温度:标准:350°C;可选:550°C

粘合卡盘系统/对准系统:150毫米加热器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200

200毫米加热器:EVG®6200,MBA300,SmartView®NT

真空:标准:0.1毫巴;      可选:0.00001 mbar


透镜三维压印机

 

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