CVD管式炉集真空管式炉，多通道气路系统和真空系统组成，可根据用户需要设计生产（有双温区、三温区、多温区），可预抽真空（有高真空、低真空），通多种气氛（供气系统有质子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。
CVD管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。CVD管式炉具有以下优势：
1、CVD管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。
2、CVD管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。
3、可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；
4、耐火，保温材料全部采用良好的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；
5、CVD管式炉加热元件采用U型硅铝（碳）棒或*电阻丝。
CVD管式炉功能以及特点说明：
1、CVD管式炉内置两个温区，可以营造300℃内不同的温度梯度；
2、双温区控制系统采用PID方式控制，控温仪表中可以设置30段升降温程序，每个温区可以单独控温；
3、采用KF快速法兰密封，只需要一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能；减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能；
4、CVD管式炉炉盖可打开，可以实时观察烧结的物料状况，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要；
5、CVD管式炉炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优于国内纤维材料；
6、加热元件采用内嵌式高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2，经久耐用，zui高温度可达1200℃。
7、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用；
8、CVD管式炉预留了485转换接口，可通过我司软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；可安装无纸记录装置，实现数据的存储、输出。
9、CVD管式炉上盖开启自动断电，超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠。
CVD管式炉使用中的注意要点说明：
1、冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。
2、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
3、CVD管式炉*使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件 及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。
4、炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。
