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数控机床校准激光干涉仪通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。
系统组成:
双频激光头及附件
环境补偿单元
测量软件、 分析软件
线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
产品优势:
采用双频激光,测量精度高
紧凑设计,适合外出服务携带
抗*力强,大型机床长距离检测时也能保证稳定精准
自动环境补偿,不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测
符合测校国家标准的测量分析软件
自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。
典型频差6±1MHz,测速高达2m/s。
首先,新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测,现在大多使用激光干涉仪进行。
其次,机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损和其他原因,精度会逐渐丧失,这时需要使用激光干涉仪进行精度的再校准。
后,激光干涉仪还可以进行其他项目的检测,例如直线度,垂直度,角度等。
双频激光频差 | 6±1MHz |
激光稳频精度 | ±0.03ppm |
真空波长 | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直径 | 6mm |
波长补偿精度 | ±0.4ppm |
预热时间 | <10分钟 |
双频激光头尺寸(重量) | 230mmx125mmx80mm(2.60kg) |
测量长度范围 | 0-40m |
测量精度 (使用 LC-2000环境补偿器) | ±0.4ppm* (±0.4μm/m)* |
精度范围 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
测量速度 | 2m/s |
系统测量能力 | 线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 内置 USB 通讯端口,无需单独接口 |
触发脉冲输入 | 是 |
动态采集频率 | 100Hz-40 kHz |
*注:精度值不包括将材料温度归一化为20℃时与其有关的误差 |