其他品牌 品牌
生产厂家厂商性质
宁波市所在地
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;
以光刻机用激光干涉测量系统为基础,
在保留高稳定性、高精度、高采样速率高性能的同时,
将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,
一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;
典型频差6±1MHz,测速高达2m/s。
系统组成:
LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
测量软件
测量镜组(选配:位置度测量镜组、直线度测量镜组、角度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
激光头尺寸 | 330mm×110mm×95mm | |
激光头重量 | 3.3kg | |
激光光束直径 | 6mm | |
激光功率 | >0.5mw | |
真空波长 |
| |
频差 | 可定制 典型值6.0MHz | |
| +15℃~+35℃ | |
激光稳频精度 | ±0.02ppm | |
线性测量范围 | 40m | |
线性测量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器) | |
分辨率 | 1nm | |
测量速度 | 2m/s | |
工作电源 | 220V/50Hz | |
储存温度范围 | +15℃~+45℃ |