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光刻机双频激光干涉仪是专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“*规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用能直接输出线偏振光的双频激光器；
低非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
YL1000A | 1.5-2.0 | >500 | 6 | ±0.02 |
YL1000B | 1.9-2.4 | > 500 | 6 | ±0.02 |
YL1000C | 2.4-3.0 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
YL1000CL | 2.4-3.0 | > 500 | 6 | ±0.02 |
YL1000D | 3.4-4.0 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000DL | 4.0-5.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000EL | 5.5-6.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
YL1000FL | 6.5-7.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
YL1000GL | 7.5-8.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
YL1000H | 8.5-10.0 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
YL1000I | 10.0-20.0(可定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
