新一代曝光光刻机UV KUB 3

新一代曝光光刻机UV KUB 3是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机，其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统，可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘，可以进行不同模式的曝光 光刻，如软接触或硬接触模式；同时配备了高精密 的位移台，辅以双 CCD 成像系统，可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。

特色

• UV LED 光源
• 设计紧凑，操作简单
• 高精度 365nm +/- 5nm 单色光光源
• 可进行软接触和硬接触曝光光刻（含
• 压力测量传感器）
• 兼容目前市场上的全部光刻胶
• 分辨率: < 1µm

• 手柄自动巡航对位，对位精度: 1µm

主要性能

• 365nm 单色 LED 光源，带宽小于 10nm
• 图像辅助的自动巡航 PAD 操作对准定位系统
• 采用高光强 LED 冷光源，避免光源发热引起的温度
• 变化干扰，提高光刻面均匀性；
• 光源寿命大于 10000 小时，减少维护及使用成本；
• 可调节 UV 光强
• 友好的触摸屏操作界面，可编程光刻工艺；
• 无需预热，快速开始进入工作状态；
• 全封闭紫外曝光区域，保障操作人员的安全；
• 半自动晶圆上下料系统
• 低功耗，节能环保

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性能指标

• zui小光刻尺寸 1µm
• 对位精度 1µm
• 紫外光源波长 365nm +/- 5nm
• 光源光强 35mW/cm² +/- 10%
• 光刻区域工作温度变化 < 1°C
• 工艺时间 (连续/非连续模式) From 1s to 1h
• 可保存光刻工艺数量 无限制
• 外形尺寸 475x480x515mm
• 总重量 55kg / 121lbs
• 触摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
• 供电电源 100V/240V –
• 50Hz/60Hz
• 功耗 180 Watts