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| 参数类别 | 参数项 | 参数值 |
| 主机箱 | 输入电压 | AC220V±10%,50/60HZ |
| 通讯方式 | USB | |
| 温度控制 | 前置放大及机箱温度控制 | |
| 对焦 | 镭射自动对焦 | |
| 样品对位 | 镭射对位 | |
| 安全装置 | 若测量中箱门打开，X射线会在0.5秒内关闭 | |
| 表面泄漏 | 少于1uSv | |
| 多通道分析 | 通道数量 | 8K(8192) |
| 温度控制 | 自动前置放大温度控制 | |
| 脉冲处理 | 微电脑高速处理器 | |
| X射线源 | X射线管 | 油冷，超威细对焦(选项) |
| 高压 | 0-50kV(程控) | |
| 管电流 | 0-1mA(程控) | |
| 目标靶 | W靶(可选Mo或Be) | |
| 准直器 | 种类 | 固定型或自动型(选项) |
| 固定种类大小 | 可选0.1，0.2，0.3，0.4，1*0.4mm；其它大小(选项) | |
| 自动种类大小 | 0.1，0.2，0.3，0.4，0.05*0.4mm | |
| 电脑系统 | 电脑 | 联想或IBM相容 |
| 显示器 | 液晶彩色显示器 | |
| 印表机 | 喷墨彩色打印机 | |
| 校正 | 应用 | 单镀层，双镀层，合金镀层，电镀液 |
| 修正功能 | 密度修正，标准样品再校正 | |
| 检测系统 | 2D、3D、随机位置测量 | 2D：均距表面测量 |
| 3D：表面排列处理测量 | ||
| 随机位置：任意设定测量点 | ||
| 检测器 | 正比计数器 | |
| 检测滤片 | Co或Ni(选项) | |
| 初级滤片 | Al(选项) | |
| X-Y-Z三轴样片台 | 操作模式 | 高速精密马达，可控制加减速 |
| 位置控制 | 鼠标定位；样品台视窗控制；防呆摄像机监控；2D、3D、随机定位；程控定位；箱门开关Y轴传输。 | |
| 摄像系统 | 摄像器 | 彩色数字CCD摄像头 |
| 显示模式 | 显示器覆盖模式 | |
| 刻度线 | 软件产生 | |
| 光束显示 | 软件显示真实大小 | |
| 照明灯 | 光暗控制 | |
| 自动修正功能 | 光束及十字线自动修正 | |
| 统计功能 | 处理项目 | 大小值，位移，平均值，标准差，Bar图表R图表及方型图等等 |
| 报表 | 五种模式可选 | |
| 处理能力 | 多90项 | |
| 标志功能 | 可插入公司标志 | |
| 预览 | 打印前预览，可节省纸张 |
