产品参数：
1.腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm
2.供电规格：AC220V，200w
3.适用靶材：贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等
4.样品台可调高度：20~50mm
5.样品台尺寸：直径55mm
6.工作真空度：1~10Pa
7.气体路数：单路
8.气体流量：手动调节
9.控制：触屏控制
10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm(宽*深*高)
11.重量：10KG
12.真空泵：VRD-8
离子溅射仪产品简介：
1、人性化设计，仪器操作简单，一键镀膜。
2、仪器小巧，不占空间，适用于实验室、科研院所等。
3、镀膜均匀细密，适用于多种靶材。
4、样品台可以快速调节，方便取放样品。
5、仪器性能可靠，设有多重安全保护机制。
