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CIBD-100 型是一种静电、双聚焦 90° 离子束偏转器,由不同高度的同心圆柱板*组成。与标准圆柱形偏转器相比,CIBD-100 设计不仅允许将入射平行光束聚焦在偏转平面上,而且可以聚焦在正交方向上。我们设计的光学特性类似于球形电容器偏转器的光学特性,同时制造起来更容易且更具成本效益。与我们的 QID-900 型相比,偏转离子束所需的电压降低了约 75%。换句话说,使用像 QID-900 这样的四极离子偏转器将离子束偏转 90 度通常需要的电压等于单电荷离子束的离子束加速电位的正负值。使用 CIBD-100 型时,所需的电压大约为加速电位的正负 1/4。也可以关闭偏转器,离子束可以通过其中一个弯曲偏转板上的孔直接穿过组件。
Beam Imaging 离子束偏转器 真空组件
标准型号 CIBD-100 安装在标准的 8 英寸扁平三通真空室(型号 CIBD-100-H)中。
建筑中使用的材料 | 铝、不锈钢、聚醚醚酮 (PEEK) 和陶瓷 |
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光束范围 | 标准操作,1eV 至 40 keV |
最大烘烤温度 | 250°C |
电源要求 | 偏转板:两个电源,0 至 + 10kV 和 0 至 – 10kV |
馈通件 | 两个高压馈入件 SHV-10(额定电压 10kV) |