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晶圆在线测厚系统 GS-300
晶圆在线测厚系统 GS-300 搭载图案对准功能，X-Y位置确认精度2μm以下。
特点
测定事例
晶圆在线测厚系统技术参数
| 名称 | Rθ驱动 mapping系统 | 高精度X-Y驱动 mapping | 搭载对应 mapping系统 |
| 型式 | SF-3Rθ | SF-3AA | SF-3AAF |
| stage方式 | Rθ stage | X-Y stage | Rθ XY |
| 光学系 | probe+CCD camera | probe+CCD camera | 同轴显微head+IR camera |
| 大晶圆尺寸mm | 300以下 | 300以下 | 仅300 |
| 晶圆角度补正 | 无 | 有 | 有 |
| 图案对位 | 无 | 有 | 有 |
| 晶圆厚度范围 | SF-3厚度感应器 参照式样 | SF-3厚度感应器 参照式样 | SF-3厚度感应器 参照式样 |
装置尺寸（本体） W×D×H | 约465×615×540 | 约510×700×680 | 约475×555×1620 |
装置尺寸（控制） W×D×H | 约430×450×210 | 约500×177×273 | 约475×555×1620 |
测定案例
贴合晶圆（Si／复合／支撑基板）
Si膜厚分布（约25μｍ）
复合膜厚分布（约25μｍ）
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