探针台

本体

电压电流（可定制）

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

自适应减震系统

具备自适应减震系统  ，    一定程度上可防止外界震动的干扰

卡盘大小

4 英寸 ，360 度转动 ，可微调

6 英寸  ，360 度转动  ，可微调

8 英寸 ，360 度转动 ，可微调

12 英寸 ，360 度转动 ，可微调

卡盘行程和精度

4 英寸*4 英寸 ，精度  2um

6 英寸*6 英寸  ，精度  2um

8 英寸*8 英寸  ，精度  2um

8 英寸*8 英寸  ，精度  2um

卡盘吸附方式

真空吸附  ，    可选择环形吸附或者多孔吸附    (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

具备  ，样品台电学独立悬空  ，带 4mm 香蕉头插口

针座平

台

材质

U 型平台  ，镀镍  ，与探针座之间具备更强吸附力

大小

最多可放置4个探针座

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座

最多可放置12个探针座

显示系

统

显微镜

体式显微镜/视频显微镜  (注意视场)  +CCD成像系统

倍率范围

15X~200X/60X~420X

调焦范围

50.8mm

显微镜移动

显微镜可绕立柱360度旋转 ，带2英寸高精度显微镜调焦机构 ，带显示器支架

CCD 成像系统

200 万/500万像素 ，帧率 60fps ，带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夹具

漏电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/显微镜万向支架等

电力需求

220V/50HZ,10A