探针台

本体

电压电流（可定制）

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

卡盘大小

6" ,360 度转动, 可微调

8"  ，360 度转动  ，    可微调

12",360 度转动 ，可微调

卡盘行程和精度

6"*6"  ，精度 1um，

8"*8"  ，精度  1um，

12"*12  ，精度 1um

卡盘气浮移动范围

气浮快速移动，三挡控制，X方向,Y方向，XY方向同时，便于快速定位 ，提高测试效率

卡盘升降功能

Chuck可Z轴升降10mm，精度为1um

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附   (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

具备 样品台电学独立悬空  ， 带 4mm 香蕉头插口

针座平

台

材质

U 型平台  ，镀镍  ，与探针座之间具备更强吸附力

大小

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座

最多可放置12个探针座

升降平台

二阶抬杆一次性6mm，接触，分离；微调行程为50mm，分辨率为1um

显示系

统

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

倍率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构 ，气浮升降    XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ，    精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500 万像素  ，    帧率 60fps ，带拍照、     录像、     测量功能

探针座

种类

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夹具

漏电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

电力需求

220V/50HZ