多功能镀膜设备为立式双开门结构,是一款集直流磁控溅射镀膜技术、电阻蒸发镀膜技术、CVD镀膜技术及中频离子清洗系统相结合的复合型设备,适应客户复杂的产品工艺切换;真空室内可一次性完成金属膜及保护膜制程,防止二次工序污染。
多功能镀膜设备结构紧凑,占地面积小;双开门结构,无待机时间,生产效率高;膜层均匀性好,光洁度高。设备可适用于车灯、车标、车内饰件等不同产品,可镀制金属膜层,如Ti、Cu、Al、Cr、Ni、SUS、Sn、In等材料。
1.MS450是一台高真空磁控溅射镀膜设备。
2.设备主要由真空室、溅射靶枪、溅射电源、加热样品台、流量控制系统、真空获得系统、真空测量系统、气路系统、PLC+触摸屏自动控制系统等组成。
3.该设备主机与控制一体化设计,操控方便;结构紧凑,占地面积小。
4.主要用途:
1. 开发纳米级单层、多层及复合膜层等。
2. 制备金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜及介质膜等,例:银、铝、 铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、氮化钛、氮化铬、ITO......
3. 两靶单独溅射、依次溅射、共同溅射。
5.应用领域:
1. 高校、科研院所的教学、科研实验及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
2. 钙钛矿太阳能电池、OLED、OPV 太阳能电池等行业。