是一款汞探针CV自动图形扫描测量系统。它使用高频CV测量分析系统，可以对75mm、100mm、125mm、150mm、200mm（以及300mm）直径的测试片进行测量和自动成图。该系统采用的汞探针设计，从而允许测试片正面朝上，相比于传统的汞探针测试系统将测试片正面朝下吸附在样品台上而言，该设计能够避免在成图测量时的表面沾污和破坏。探针的CV系统是一种双极测试设备，两个接口被分别连接在样品的两个电极上。实际的CV测试包括两个方面：在样品电极上施加反向（或正向）偏置电压；测试两个接口之间的电容。

金属电极和耗尽区构成一个极板电容，这和两块金属板构成的空气电容类似。当反偏电压越来越大时，耗尽层越来越深，对应的电容会越来越小。从测到的电容电压数据对，我们可以分析计算出掺杂浓度随深度的变化曲线。从得到的曲线可以进一步判断掺杂浓度在深度分布上是否均匀等