AE 直流电源 MDX 10K-SLAVE 10KW DC电源 是经过现场长期验证的具有高可靠性、优良工艺稳定性和控制能力的直流电源设备。AE MDX Series 直流电源使用高频转换技术来提供严格的调节、高转换效率和低存储能量的输出。采用微处理器控制和模块化设计，易于使用、维护和维修。AE MDX Series 直流电源能在真空环境中持续使用提供可靠的电源，通常用作直流磁控溅射驱动器，可提供严格的调节、优良的灭弧和低存储输出能量。该系列直流电源设备适合用作硬涂层系统和射频溅射和蚀刻系统中的大功率偏置电源。

AE 直流电源 MDX 10K-SLAVE 10KW DC电源 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：MDX 10K-SLAVE

AC 电源输入：3 phase~，200~208V，19A~5kw，38A~10kw，50/60Hz

输出功率：5KW/10KW

通讯接口：Intercon A/B，USER

设备散热：风冷散热

AE MDX 10K-SLAVE 设备特点

1.磁控溅射

2.阴极电弧沉积

3.直流偏置

4.500W~80KW