PEⅡ Series 低频系列具有增强电弧控制功能和内部负载匹配，适用于40KHz反应溅射应用。该系列电源设备按照双磁控管溅射的标准设计，作为真空清洁工具可靠有效，可用于多种PECVD应用。

PEⅡ Series 电源设备可严格调节功率、电压或电流输出，测量精度为1%，兼容可编程逻辑控制器（PLC），提供 40 KHz 脉冲宽度调制 (PWM)，提供两种不同的电弧处理电路，浮动输出可在任何一侧接地。AE PEⅡ 5K 低频电源 40KHz 5KW LF Power Supply采用整体水冷的散热方案。

优点

1.可靠性久经验证，可有效提高系统利用率

2.精确调节功率、电压或电流

3.可达到高灵活性和模块化

4.增强电弧控制

5.宽输出范围

特点

1.5KW 和 10KW 可选（针对60KW的主/从配置）

2.内部负载匹配（10：1阻抗范围）

3.两个不同的电弧处理电路

4.高效紧凑的水冷设计

5.符合CE标准

6.兼容Advanced Energy LMII 10K 匹配网络，可在更高电压下操作

AE PEⅡ 5K 低频电源 40KHz 5KW LF Power Supply技术参数

Power ：5 and 10 kW models (primary/secondary capable for higher powers)

Output Frequency ：40KHz

Voltage Range ：300 to 950 V via seven selectable taps

ARC Management ：Both voltage and current detection

Cooling ：Water