MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高浓度、高流量的臭氧发生器，通过无声放电将纯氧转化为臭氧，实现高输出和高浓度水平。AX8407 只需要掺入微量的氮气，远远低于其他臭氧发生器所需的氮气水平，因此最终产生的如氮氧化物之类的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 参数规格

类型：臭氧气体发生器

臭氧输出：335g/Nm³

流量：5~40slm

原料气：6级或是更好的氧气；100~1000ppm 5级或更好的氮气

额定腔室压力：15~45psig（100~310kPa）

压力：20~30psig

水冷温度：5~25℃

水冷过滤：100微米

水冷水质：电阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：7.6L/min MIN

AC输入：208VAC（±10%），3 phase，15A，50/60Hz

设备重量：50kg（130LB）

尺寸规格：483 * 445 * 267 mm

MKS ASTeX AX8407 特征

1.臭氧浓度在 5°C 时高达 335 g/Nm³ 或 21.7 wt%

2.5slm ~ 40slm的 O₂ 流量可实现工艺灵活性

3.优秀的腔室结构设计可产生高浓度臭氧

4.闭环操作可实现更严格的过程控制