MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是专为低流量，高臭氧浓度的如ALD等应用设计的。AX8560结合MKS的高浓度、超清洁臭氧产生技术，集成臭氧浓度监测，流量控制，以及所有独立操作所需的仪表和调节器。该子系统结构紧凑，重量轻，可以独立，机架安装或集成到AX8555多通道臭氧输送系统。

优秀的MKS臭氧发生器电池技术通过无声放电将纯氧转化为臭氧，达到可用的高臭氧浓度水平。AX8407 只需要掺入微量的氮气，远远低于其他臭氧发生器所需的氮气水平，因此最终产生的如氮氧化物之类的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 规格

类型：臭氧气体发生器

臭氧输出：26~180g/hr

流速：0.5~5slm

原料气：6级或是更好的氧气；20~100ppm 5级或更好的氮气

额定腔室压力：10~45psig（0.7~3.1bar）

压力：20~30psig

水冷温度：17~23℃

水冷过滤：100微米

水冷水质：电阻率≥50KΩ/cm

水冷流量：0.95~6.65L/min

AC输入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz

设备重量：40kg（88LB）

尺寸规格：482 * 429 * 267 mm