MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus 具有高稳定性的操作和快速，宽的动态范围扫描允许过程偏差和气体成分的变化被立刻凸显出来。MicroVision Plus 提供优秀的电子技术，以及可用于生产的残余气体分析仪器。

MicroVision Plus 具有“智能头”技术——电子元件直接安装在分析头上，并通过RS232C或RS422接口直接连接到系统PC。为满足特定的应用要求，可提供开放离子源和特高压源。开放式离子源分析仪由不锈钢和高纯氧化铝陶瓷制成，具有独立可更换的双灯丝，为更长的操作提供内置备份，没有真空中断。

MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus 特点

1.高稳定性射频和数据采集电子，快速预热

2.快速，宽动态范围扫描-快速突出工艺偏差

3.预过滤分析仪作为提高抗污染能力和提高质量灵敏度的标准

4.灵活的I/O能力，与生产工具和其他传感器的交互

规格

质量范围：1~100，1~200和1~300amu 标准1~6，和1~100高性能选项

MAX运行压力：7.6 * 10^-5Torr

最小可探测压强：通道板扫描电镜：3.8 * 10^-14 Torr；单通道扫描电镜：7.6 * 10^-15Torr

质量稳定性：在环境温度稳定的条件下，8小时内优于±0.1amu