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鸟牌Bird Sensor to Meter连接线 4421-038
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Beckhoff 嵌入式控制器 CX2100 电源组件
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EATON UPS 不间断电源 PW5115 1500i RM BLK
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AMC 无刷直流伺服器 Servo Amplifier 1800W
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MKS RGA 残余气体分析仪 HPQ2
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MKS RGA 残余气体分析仪 MicroVision Plus
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臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator
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油冷干式射频终端 8890-300 RF Termination
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Bird 油冷射频终端 8862 Dummy Load 1500W
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臭氧发生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator
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鸟牌Bird 射频功率计 4421 RF Power Meter
面议AKT Voltage Monitor VMU-01A1半导体电压监控器，是配套AKT机台使用的经过长期验证的具有稳定检测能力的优良电压检测器。用于监控机台电源系统的正常运行，可根据用户所定义的阈值生成警告和故障信息，并支持测量系统中的其他辅助电压。该型号设备可在机台运行的过程中，精准稳定持续地监控机台的电源系统运行状态，提高机台整体的运行效率和生产安全水平。实时记录机台供电电源及内部电源系统的电压波动，对运行电压的稳定性进行监控，一定程度上可以避免并减少由于电压波动导致的损失。
AKT Voltage Monitor VMU-01A1半导体电压监控器型号：VMU-01A1
P/N：0191-71336
频率：13.56MHz
RF Voltage：1500Vpp
DC Voltage：-1000Vdc
DC Input：24V，2A
