DAIHEN 射频网络匹配器 AMN-50L-V 60MHz 5000W RF Match 是经过长期验证的设计优秀、性能可靠的射频阻抗网络匹配器。匹配效率高，速度快，能够高效地降低反射，减少射频损耗，提升能源效益，降低客户的使用成本。能够对等离子工艺进行高性能，高可靠性和精确控制。该系列射频电源匹配器专为半导体和关键的薄膜应用设计，广泛应用在半导体晶圆制程中，FPD行业的LCD，OLED，封装产业，以及微机电产业中3D集成TSV工艺中，提高产线效率和产品良率。

DAIHEN 射频网络匹配器 AMN-50L-V 60MHz 参数规格

设备品牌：DAIHEN                                                                                                                                  

设备型号：AMN-50L-V

AC电源输入：1 phase~ ，100~200V，~1.5A，50/60Hz

RF输入频率：60MHz

输出功率：5000W

通讯接口：Display，P/C，Debug，Matcher，Monitor

设备散热：风冷散热

设备重量：24kg