ENI 射频网络匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW RF Auto Matcher 是经过现场长期验证的性能稳定可靠的射频阻抗网络匹配器，广泛应用在半导体薄膜工艺中。ENI MWH系列 射频阻抗网络匹配器具有用响应速度快，匹配精度高的特点，能够对射频实施精准控制。当侦测到反射功率时，匹配器能够迅速调节内部阻抗降低反射，完成匹配，可以减少功率损失，降低能耗，提高能源效益，降低客户的使用成本。

ENI 射频网络匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW 参数规格                                        

设备品牌：ENI

设备型号：MWH-100

AC 电源输入：1 phase~/N/PE，100~240VAC，100VA，50/60Hz

RF 射频输入：Max功率 10KW，13.56MHz

通讯接口：Digital Interface，Control Interface，User Interface

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MIN进水流速 0.27gal/min（1L/min），水冷进水温度 5℃~35摄氏度，MAX进水水压 35PSI/241Kpa

设备重量：14kg，30lbs