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AE Fixed Match 半导体RF匹配器
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面议DAIHEN 射频网络匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W RF Match 是经过长期现场验证的具有优良工艺稳定性和控能力的高性能射频阻抗网络匹配器，能够实现对射频输出和功率的精准控制，常常运用于溅射、CVD、PECVD、蚀刻等半导体制程中。该型射频电源阻抗网络匹配器设计有双射频通道信号匹配，分别为13.56MHz/3000W和100MHz/5000W。DAIHEN NX-HRM系列射频阻抗网络匹配器响应速度快，匹配精度高，能够迅速完成匹配，对功率反射信号的侦测灵敏，可以快速反射功率，提高能源效益，降低客户的使用成本。
DAIHEN 射频网络匹配器 NX-HRM-30B4 13.56/100MHz 3000/5000W 参数规格
设备品牌：DAIHEN
设备型号：NX-HRM-30B4
DC 电源输入：24V，5.5A
RF 射频输入 13.56MHz/100MHz
输出功率：3000W/5000W
通讯接口：DeviceNet，Display，Debug，Pulse In，Analog-I/F I/L
设备散热：风冷散热
设备重量：26.5kg
