COMET 品牌
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面议COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match 能够实现对等离子工艺经行高性能，高可靠性和精确的控制。采用高度优化的驱动系统，具有较小的间隙，可实现优良工序间的可重复性工作。专为半导体和关键的薄膜应用设计，广泛应用在半导体晶圆制程200mm/300mm行业中，FPD行业的LCD，OLED，封装产业，以及微机电产业中3D集成TSV工艺中。
COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match
DC 电源输入：DC Input 24VDC，3.5Amax
RF 射频输入：3000 Watt CW，13.56MHz
RF 射频输出：5000 Vrms，25Arms
通讯接口：RS-232C，Analog，USB
设备散热：风冷散热
设备重量：12.0lb，5.4kg
COMET 101187 特点
1.在半导体和薄膜应用中性能可靠，效果理想
2.与COMET射频电源兼容的全用户接口
3.与COMET射频电源兼容的脉冲
4.小巧的设计可实现广泛调频
