COMET 品牌
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AE Fixed Match 半导体RF匹配器
面议DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-100B2 RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 NX-HRM-30B4
面议ENI 射频网络匹配器 MWH-100 13.56MHz 10KW
面议DAIHEN 射频网络匹配器 AMN-50L-V 60MHz
面议DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-75A2 RF Match
面议DAIHEN 射频网络匹配器 FRM-50D RF Match
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面议NIHON KOSHUHA 自动微波匹配器 AMC-9501G01
面议COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match 能够实现对等离子工艺经行高性能,高可靠性和精确的控制。采用高度优化的驱动系统,具有较小的间隙,可实现优良工序间的可重复性工作。专为半导体和关键的薄膜应用设计,广泛应用在半导体晶圆制程200mm/300mm行业中,FPD行业的LCD,OLED,封装产业,以及微机电产业中3D集成TSV工艺中。
COMET 射频网络匹配器 101187 RF Match
DC 电源输入:DC Input 24VDC,3.5Amax
RF 射频输入:3000 Watt CW,13.56MHz
RF 射频输出:5000 Vrms,25Arms
通讯接口:RS-232C,Analog,USB
设备散热:风冷散热
设备重量:12.0lb,5.4kg
COMET 101187 特点
1.在半导体和薄膜应用中性能可靠,效果理想
2.与COMET射频电源兼容的全用户接口
3.与COMET射频电源兼容的脉冲
4.小巧的设计可实现广泛调频