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TESCAN VEGA COMPACT 是 TESCAN 第四 代扫描电镜中的一员,是一款微型鸨灯丝扫描电子 显微镜,为满足实验室基本分析需求,优化了成像 和成分分析功能,简化了配置,是一款的 入门级高效分析型扫描电镜。
TESCAN VEGA COMPACT升级使用了全新 的Essence™专用电镜软件,在单个窗口中就可以 实现SEM成像和实时元素分析,更大程度简化了从 样品上获取形貌和元素数据的过程,使得 VEGA COMPACT能够更快速有效地完成大量样品 的基础检测,使之成为经济高效的多功能分析工具。
四透镜设计
Wide Field Optics™设计,可提供多种工作模 式和显示模式;专有的中间镜(IML),采用电磁 的方式改变物镜光阑一一中间镜的作用如同连续可 调的光阑,无需任何机械对中的镜筒设计,使光路 合轴和校准*自动化;中间镜带来的实时电子束 追踪技术(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和 优化电子束的束斑、束流;3D电子束技术(3D Beam Technology)可获得实时立体成像。
• SE 分辨率:3 nm @ 30 kV
• 8 nm @ 3 kV
• 强大的低倍性能,为样品的全景观察和定位 提供了便利
• 新颖的EssenceTM操作软件,操作者可以依 照喜好自定义界面,方便直观
• 新颖的EssenceTM三维演示功能,保证了样 品运动时样品室内探测器的安全
• *集成的Essence™ EDS功能,可以快 速,轻松地从成像切换到元素分析操作
1. 样品全貌的大视野图像
2. 样品局部图像
3. SE高分辨图像
4. BSE高分辨图像