TESCAN MIRA是TESCAN最新推出的第四代 高性能的扫描电镜中的一员，配置有高亮度肖特基 电子枪，在TESCAN的Essence™操作软件中， 结合了扫描电子显微镜成像和实时元素分析。这种 组简化了从样品中^Jf做元的过程， 提供了质量控制、失效分析和实验室常规材料检验 的有效的分析解决方案。

       TESCAN MIRA系列配置了全新推出的防撞报 警模型系统，在软件内可模拟出样品室内所有硬件 的空间几何关系，可以预测样品成像和分析过程中 的实际移动方式，更直观更安全的保证样品不会与 样品室内的任何探测器和第三方硬件发生碰撞。

       电子束减速技术(BDT)

       MIRA搭载的电子束减速技术可以 实现低50 eV的着陆能量，显著提高了电子低 能量入射的分辨率并优化了检测信号。在减速模式 下，不同探测器能够对SE和BSE信号进行区分井 分别采集，也可以同时进行信号采集并叠加。

       MIRA高束流下优异的分辨率^常都U 于EDS、WDS及EBSD成分分析。借助优化的电子 束减廳术使得低着陆ma下的成像能力进一步增强。

       SingleVac™已经成了  MIRA的标配功 能，可以一键解决样品荷鶴□电子束敏感样品的观察。

•  可配置镜筒内探测器In-Beam SE和In-Beam BSE,获得更高的分辨率和图像衬度

•  In-Flight Beam Tracing™ 功能，可 设置优化束班尺寸和束流强度

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速、轻松地从成像切换到元素分析操作

•  不需安装压差光阑，一键实现高真空到 SingleVac™低真空模式的切换，并实现 低真空模式下的大视野

•  可配置多种分析扩展附件，对形貌、成分、 结构、取向、结晶度、分子结构、应力等做 综合分析

1.样品室内SE探测器图像

2.样品室内BSE探测器图像

3.镜筒内SE探测器图像

4.镜筒内BSE探测器图像