探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要，而特定设计的一款高精密高稳定探针台，其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制，已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
技术优势：
● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；
● 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
● 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
● 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。
细节展示：
详细模块配置及参数说明：
| 名称 | 型号 | 单位 | 数量 | 参数 |
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| 探针台台体 | PBL | 套 | 1 | 底部蜂窝隔振面包板，尺寸450mm*600mm*50mm带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振； 四维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调； 两边半圆形高稳定性探针架，集成真空吸附开关，带有连接标准探针卡夹具接口（探针卡单买），表面铁磁不锈钢材质，拉丝镀铬处理，保证磁吸稳定性的同时防止生锈。
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| 探针座 | TPLS-UP | 套 | 2 | 三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）; 测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A； 行程：XYZ行程分别13mm； 固定方式：可调磁吸吸附； 探针夹持角度：偏摆60°；
配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
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| 显微成像模块 | ST51 | 套 | 1 | |
| 真空吸附卡盘 | PVS-04 | 套 | 1 | 台面尺寸：4/6/8/12英寸可选，不锈钢材质； 4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔； 标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行； 搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转；
背电极设计：可引出背电极； 吸附孔圆槽设计，增强吸附能力； 单独吸附孔道，独立真空吸附开关； 真空吸附套装附件。
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| 探针 | PTR-03 | 盒 | 1 | 钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； 钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； 镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。
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常规选型：
| 产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 探针座位移精度 | 漏电流精度 | 探针座数量 |
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| TLRH-04 | 4英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3个 |
| TLRH-06 | 6英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3个 |
| TLRH-08 | 8英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3个 |
| TLRH-12 | 12英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3个 |
实验附件及常规测试步骤：
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。
测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域：
半导体材料光电检测功率器件测试MEMS测试PCB测试液晶面板测试测量表面电阻率测试精密仪器生产检测航空航天实验
谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。
