品牌
代理商厂商性质
所在地
PICOSUN®P-300B ALD 系统是专为生产 MEMS 设备(例如打印头，传感器和麦克风) 以及各种3D 物品(例如机械零件，玻璃或金属薄板，硬币，手表零件和珠宝，镜片，光学器件以及医疗设备和植入物。
该系统已经成为高产能ALD制造业的新标准。拥有的热壁、独立的前驱体管路和特殊的载气设计，确保我们可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷，限度的减少了系统的维护停工期和使用成本。拥有技术的Picoflow™使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效，并已在生产线上得到验证。
