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半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪
半导体设备日本理学Rigaku荧光射线分析仪
由于X射线从样品上方照射,即使粉末颗粒从样品中散射,光学系统也不会受到影响。不需要薄膜来防止样品掉落。 ZSX Primus III NEXT进一步抑制了灰尘流入设备内部。
如果在测量分析样品时操作系统出现故障,分析仪配备了保护功能,可防止分析样品无意中长时间留在测量设备中,导致设备和样品损坏。
可以为每个操作员设置软件的访问级别。这可以防止由于操作错误而导致数据库更改或删除。
通过在X射线计数系统中安装数字多通道分析仪(D-MCA:1024通道规格),我们通过高速数字处理实现了高达高计数率范围的计数线性。通过高速数据处理和各驱动单元的高效控制,与传统设备相比,定量分析的吞吐量提高了21%。
还可以安装环保型轻元素气体保护正比计数器(S-PC LE)。由于检测器不需要供气,因此即使在难以获得或安装高压气体的地方也可以安装该装置(可选)。
除了减少冷却水量和PR气体流量外,还具有在不进行分析时自动降低X射线输出的节能操作功能以及自动断电功能。
我们加强了对经过验证的ZSX Primus IV / ZSX Primus IVi软件<ZSX Guidance>的常规分析,并充分利用D-MCA数据来提高准确性。另外,获得的定量分析结果的误差可以以标准差的形式显示,可以有效地评价分析值的可靠性。
调度程序功能可简化日常分析管理(自动启动+自动漂移校正功能),大大减少分析工作前准备工作所需的人力。
与旗舰机 ZSX Primus IV / ZSX Primus IVi 兼容的行业特定应用程序包也可以与该设备 ZSX Primus III NEXT 一起使用。
通过与顶照式ZSX PrimusIV、ZSX Primus III NEXT和底照式ZSX Primus IVi创建通用的硬件和软件平台,可以在三个型号和同一型号之间轻松共享应用程序。
产品名称 | ZSX Primus III NEXT | |
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方法 | 波长色散射线荧光分析 (WDXRF) | |
目的 | 固体、粉末、合金和薄膜的元素分析 | |
技术 | 扫描波长色散射线荧光分析 (WDXRF) | |
主要部件 | 3kW封闭式X射线管,10晶体自动交换器 | |
选项 | 48 个样品自动进样器(托盘) 轻元素气体保护正比计数器 (S-PC LE) | |
控制(电脑) | 外部 PC、MS Windows® 操作系统、ZSX 指导 | |
机身尺寸 | 1310(宽)×1508(高)×890(深)毫米 | |
质量(主体) | 约620公斤 | |
电源 | 设备:3相,200V,40A 计算机:100V,10A |