日本ULVAC爱发科半导体卷绕式真空沉积设备

日本ULVAC爱发科半导体卷绕式真空沉积设备

卷绕式真空蒸镀设备EWG系列

这是利用电阻加热方式将铝蒸镀到二次电池用塑料薄膜上的成膜装置。

特征

• 我们的沉积技术显着提高了基板冷却效率并减少了沉积过程中造成的热损伤。

• 先进的收卷控制系统可实现超薄膜的稳定、高速收卷，并配备防皱辊。

• 使用双面批量沉积技术实现高生产率

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