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日本进口ULVAC爱发科罗茨泵密闭式电机
由于无油
壳体腔内没有润滑油，因此即使面对水蒸气、溶剂等蒸汽也能发挥稳定的性能。
采用屏蔽电机
通过采用屏蔽电机，我们能够消除空气/真空机械密封。可以在清洁的环境中使用，不用担心漏油。
表面处理，耐腐蚀性能优异
主要部件均经过阳极氧化铝处理，表面硬度高，耐腐蚀性能优异，可防止泵内部划伤和腐蚀。也可以选择不进行表面处理。
由于可以与大气压驱动（变频选项：变频）低真空泵同时启动，可有效缩短抽气时间，因此与标准型相比，可缩短抽气时间。
除了标准选项和特殊应用选项外
，我们还提供特殊应用型号。
| 使用示例 | 类型（种类） | 适用型号 | 表面处理 | 油 |
| 通过空气或惰性气体排气表面处理 提高抗异物能力 | 标准 | PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A | ○ *1 | R-42 矿物油 |
当您想抑制空气或惰性气体排气水分吸附对极限压力的影响时 | X | PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X | ✖ | R-42 矿物油 |
表面处理可防止油因腐蚀性气体、可燃气体和氧化性气体而劣化，从而提高抗异物强度 | F | PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F | ○ | J25F *2 氟油 |
*1 如果进行表面处理，排气时间可能会受到吸湿释放气体的影响。
*2 组装检查将使用氟油进行，但不包括在内。如有需要，将另行安排。
气相沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、填充、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他各种真空装置
| 型号*1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 280 立方米/小时 （4670 升/分钟） | 500立方米/小时 （8330升/分钟） | 1000立方米/小时 （16700升/分钟） | 1500立方米/小时 （25000升/分钟） | |
| 60赫兹 | 330立方米/小时 （5500升/分钟） | 600立方米/小时 （10000升/分钟） | 1200立方米/小时 （20000升/分钟） | 1800立方米/小时 （30000升/分钟） | ||
| 最大吸气压力 | 50赫兹 | 1.2 × 103帕 | 1.3× 103帕 | 1.2 × 103帕 | ||
| 60赫兹 | 9.3 × 102帕 | 1.1 × 103帕 | 9.3 × 102帕 | |||
| 最大允许压差 | 50赫兹 | 4.0 × 103Pa | 7.3 × 103帕 | 4.3 × 103帕 | ||
| 60赫兹 | 3.3× 103帕 | 6.0 × 103Pa | 3.2 × 103帕 | |||
| 极限压力*2 | 4.0 × 10-1Pa | 6.7 × 10-1Pa | ||||
| 可驱动压力 | ~1.0 x 10 5 Pa（大气压驱动型） | |||||
| 电机*3 | 格式 | 屏蔽式三相异步电动机 | ||||
| 高效率等级 | - | |||||
| 输出 | 0.75千瓦（2极） | 2.2千瓦（2极） | 3.7千瓦（2极） | 5.5千瓦（2极） | ||
| 电压 （200V级电机） | 50赫兹 | 200V | ||||
| 60赫兹 | 200/220V | |||||
| 使用油*4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 所需油量 | 0.7升 | 1.5升 | 1.9升 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水 | 一次压力 | 0.3兆帕 | ||||
| 入口/出口压差 | 0.01MPa以上 | |||||
| 冷却水量 | 2升/分钟 | 3升/分钟 | ||||
| 冷却水温度*5 | 5～30℃ | |||||
| 进气直径 JIS-B-2290 | 相当于VG80 | 相当于VG100 | 相当于VG150 | |||
| 排气直径 JIS-B-2290 | 相当于VF80 | 相当于VF100 | ||||
| 外形尺寸W×D×H *6 | 296×575×260毫米 | 356×619×320毫米 | 406×759×340毫米 | 406×989×340毫米 | ||
| 大量的 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
| 标准辅助泵 | VD60C | VD90C | VS2401 | VS2401 | ||
| 标准配件 | 1 本使用说明书、1 单位油 | |||||
注）本规格表采用SI单位制。非 SI 单位的换算如下。
4.0×10 -1 帕 = 3.0× 10 -3托
*1 标准产品经过表面处理（阳极氧化涂层）。 您也可以选择不进行表面处理。
*2 用皮拉尼真空计测量（辅助泵和使用的油是标准的）。
*3 不兼容隔爆和防爆结构。
*4 可选择氟油（J25F）。
*5 请在无结露的环境下使用。
*6 对于其他尺寸，请检查我们网站上发布的 CAD 数据。
