小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法，以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流，进入基材或基材表面，然后凝结成固体膜。
小型蒸镀仪包括以下基本过程：
（1）加热蒸发过程：包括从冷凝相变为气相的过程，并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
（2）气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输，即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
（3）蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即，蒸发，冷凝，成核，成核生长，形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度，因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
小型蒸镀仪中有两个不同用途的蒸发头：它们用金属箱蒸出以进行碳蒸发。注意：使用碳棒蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑孔，一根电极线连接到红色孔；使用金属蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑孔，一根电极线连接到绿色孔。
1、将要溅射的基材放入气相沉积设备的腔室中。
2、根据所需的蒸发材料选择金属蒸发头/钨筐或碳蒸发头，并按照仪器操作规程的里德规程安装所需的蒸发材料。使用碳棒蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑孔，一根电极线连接到红色孔；使用金属蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑孔，一根电极线连接到绿色孔。
3、按照仪器操作规则逐步操作仪器，实验结束后取出样品。由于长期使用会在腔室周围沉积一层厚厚的涂层，因此请根据实际情况及时清洁腔室。但是，请勿使用有机试剂（如丙酮，乙醇等）清洁橡胶圈，以免由于老化而漏气。关闭主机电源和原点。最后，切断仪器的主电源并盖上仪器。
