等离子体是由被剥夺部分电子后的原子及原子团电离产生的离子化气体状物质，具有比气态、液态、固态物质都高的能量范围，被称为物质的第四态。等离子体是由离子、电子和中性粒子组成的中性集合体，在与材料表面撞击时会将自己的能量传递给材料表面的分子和原子，产生一系列物理和化学过程。一些粒子还会注入到材料表面引起碰撞、散射、激发、重排、异构、缺陷、晶化及非晶化，从而改变材料的表面性能。
等离子表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
等离子表面处理仪由等离子发生器、气体输送系统及等离子喷头等部分组成。等离子发生器产生高压高频能量在喷嘴钢管中被激活和被控制的光放电中产生了低温等离子体，借助压缩空气将等离子体喷向工件表面，当等离子体与被处理物体表面相遇时，产生了化学作用和物理变化，表面得到了清洁，去除了碳化氢类污物，建立了羟基、羧基等自由基团，这些基团对各种涂敷材料具有促进其粘合的作用，在粘合和油漆应用时得到了优化。
等离子表面处理仪在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域得了广泛的应用，主要用于材料表面清洗、活化、沉积、去胶、刻蚀、接枝聚合、疏水、亲水、金属还原、去除有机物、镀膜前处理、器械消毒等。
