应力双折射测量系统(残余应力测量)可以在深紫外（193nm）波段进行应力双折射探测。针对特定材料制作（氟化钙）和特定形状（非球面透镜）的技术解决方案。
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不规则非球面光学元件应力分布测量系统（应力双折射测量系统）通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向，这些数据同时也表示了应力的大小和方向。这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统的倾斜，多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件（光刻机透镜等）有着的扫描测量解决方案。
应力双折射系统用于残余应力检测。该应力双折射测量系统既可作为实验室科研探索测量光学组件应力分布测量，也可用作诸如玻璃面板，透镜，晶体，单晶硅/多晶硅、注塑成品等工业生产中检测产品应力分布。产品软件直观显示待测样品应力情况，便于操作和日常监测。
应力双折射系统(残余应力检测)可以根据客户需求选择设置，使得测量更有针对性（高精度/大范围相位延迟量），系统有着*测量速度的同时也具有*的测量分辨能力（<1 mm grid spacing ），150AT应力双折射系统也提供倾斜位移平台等设计来帮助客户完成一些非常规扫描/测量需求。
产品特点：
1、自动X/Y位移平台扫描
2、台式整机设计组装
3、灵活位移平台设计，满足个性化定制需求
4、数据拟合分析功能和友好用户界面
5、二维/三维图形/参数表格显示样品应力分布测量结果。 
