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快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪
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应用：
ES01系列尤其适合于科研和工业产品环境中的新品研发。
ES01系列多种光谱范围可满足不同应用场合。比如：
快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪适合于测量电介质材料、无定形半导体、聚合物等的实时和非实时检测。ES01U适合于很大范围的材料种类，包括对介质材料、聚合物、半导体、金属等的实时和非实时检测，光谱范围覆盖半导体的临界点，这对于测量和控制合成的半导体合金成分非常有用。并且适合于较大的膜厚范围（从次纳米量级到10微米左右）。
快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪可用于测量光面基底上的单层和多层纳米薄膜的厚度、折射率n及消光系数k。应用领域包括：微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁介质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。
