特点：

• 原子层量级的*灵敏度

  *的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的制造工艺实现并保证了能够测量原子层量级的极薄纳米薄膜，膜厚精度达到0.01nm，折射率精度达到0.0001。

• 百毫秒量级的快速测量

  多入射角激光椭偏仪水准的仪器设计，在保证*精度和准确度的同时，可在几百毫秒内快速完成一次测量，可满足单原子膜层生长的实时测量。

• 简单方便的仪器操作

  多入射角激光椭偏仪用户只需一个按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程，数据一键导出。丰富的模型库、材料库方便用户进行高级测量设置。

应用：

• EMPro适合于高精度要求的科研和工业产品环境中的新品研发或质量控制。
• EMPro可用于测量单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k；可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k；可用于实时测量快速变化的纳米薄膜的厚度、折射率n和消光系数k。
• EMPro可应用的纳米薄膜领域包括：微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁介质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。可应用的块状材料领域包括：固体（金属、半导体、介质等），或液体（纯净物或混合物）。