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EM12 精致型多入射角激光椭偏仪
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经销商EM12是采用量拓科技*的测量技术,针对中端精度需求的研发和质量控制领域推出的精致型多入射角激光椭偏仪。
EM12可在单入射角度或多入射角度下对样品进行准确测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;也可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;亦可用于实时测量纳米薄膜动态生长中膜层的厚度、折射率n和消光系数k。多入射角度设计实现了纳米薄膜的厚度测量。
EM12适合于中端精度要求的科研和工业环境中的新品研发或质量控制。
EM12 精致型多入射角激光椭偏仪可用于测量单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k;可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;可用于实时测量快速变化的纳米薄膜的厚度、折射率n和消光系数k。
EM12 精致型多入射角激光椭偏仪可应用的纳米薄膜领域包括:微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。可应用的块状材料领域包括:固体(金属、半导体、介质等),或液体(纯净物或混合物)。