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QFL100C系列 单轴气浮直线台
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生产厂家王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年,英文名称:BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD,公司简称:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业,专注精密运动台,团队拥有10年以上核心研发经验,拥有多种应用领域经验,成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域:半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向,倾听客户之心声,提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值,坚持高精密为主线,坚决不走捷径,踏踏实实,积厚薄发,长期艰苦奋斗,坚持自我批评与创新,为提高行业精度水平,默默耕耘
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
非接触式结构
单轴气浮直线台QFL100C系列采用非接触式气浮轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置,确保免维护运行,因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,QFL100C不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮轴承不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。
高精度指标
单轴气浮直线台气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与直驱直线电机,精密光栅尺组成闭环控制,实现高精度移动定位。与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。
管线优化管理
经过多年研究,线缆管理对性能有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的线缆,以确保*操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。
密封装置
采用*的密封装置,不影响直线台的精度性能,在应用中防止异物进入气浮导轨。
定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能,行程也可接受定制。
规格指标
型号 | 单位 | QFL100C-25 | QFL100C-75 | QFL100C-100 | QFL100C-125 | QFL100C-150 | |
行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.025 | ±0.05 | |||
标准值 | ±0.05 | ±0.075 | |||||
直线度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ||
标准值 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.5 | ||||
平面度 | μm | ±0.15 | ±0.5 | ||||
Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.25 | ±0.5 | ±1 | ||
标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ||||
速度 | mm/s | 100 | |||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5(选配) | |||||
加速度 | m/s² | 1,(5 定制) | |||||
负载 | Kg | 15 | |||||
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 |