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RBN150 单轴精密运动台
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生产厂家王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年,英文名称:BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD,公司简称:瑞邦精控(AUS-PRECISION)。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业,专注精密运动台,团队拥有10年以上核心研发经验,拥有多种应用领域经验,成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域:半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向,倾听客户之心声,提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值,坚持高精密为主线,坚决不走捷径,踏踏实实,积厚薄发,长期艰苦奋斗,坚持自我批评与创新,为提高行业精度水平,默默耕耘
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
产品型号:RBN150
产品应用:单轴精密运动台应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
产品特点:
非接触式直驱结构驱动
抗蠕动交叉滚柱导轨导向
百纳米级定位精度
纳米级微动步距
高动态性能
结构可接受定制
产品图片
产品用材设计
单轴精密运动台采用非接触式直线直驱电机驱动,非常适合要求高精度的需求,其不会与磁铁发生不良反应,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;该结构可以把平台高度降低,结构紧凑,减小阿贝误差的影响。
非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得重复定位精度±75nm,纳米级微动步距。
Z轴采用低摩擦气缸配重,有效的提升了垂直方向上的性能。
精密控制
精密运动台配合业界上主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能,控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。
定制化设计
可定制用于真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。
规格参数