$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>匀胶机

L20001 英国Ossila-Spin Coater

型号
L20001
参数
产地类别:进口 价格区间:5万-10万 应用领域:医疗卫生,环保,食品,生物产业,农业
华仪行(北京)科技有限公司

高级会员10年 

生产厂家

该企业相似产品

Ossila-UV Ozone Cleaner

在线询价

英国Ossila Spin Processor

在线询价

匀胶旋涂仪

在线询价

英国Ossila小型狭缝涂布仪

在线询价

英国Ossila浸渍提拉镀膜机

在线询价

Ossila公司接触角测量仪

在线询价

Ossila紫外臭氧清洗机

在线询价

Ossila狭缝挤出式旋涂机

在线询价
半导体领域仪器设备:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机等。 理化实验室仪器设备:酸蒸逆流清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板等

企业历程 :

◆ 2006 年,在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大学科研院所销售仪器设备的供应商。

◆ 2008 年, 自主研发生产石墨电热板以来, 先后研发生产酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等理化实验仪器设备, 从此走上研发生产专业化道路。

◆ 2010 年,掌握了等离子核心技术,自主研发生产科研型等离子清洗机系列产品。

◆ 2014 年, 在中国注册成立华仪行(北京) 科技有限公司, 正式进入中国市场, 部分仪器设备研发、制造业务移至中国。

◆ 2015 年,自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。

◆ 2017 年,自主研发生产紫外臭氧清洗机系列产品。

◆ 2018 年,在中国成注册立赛福仪器承德有限公司,将研发制造业务全部移至中国。

◆ 2019 年,电镜专用远程等离子清洗机研发成功。

◆ 2021 年,自主研发生产中试、生产型等离子清洗系列产品,完善了等离子产品线。

◆ 2023 年,科研型等离子去胶机、RIE 蚀刻机研发成功。


公司专注材料表面处理技术:

◆ 改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机)                   ◆ 去胶(等离子去胶机)

◆ 蚀刻(等离子刻蚀机)                                              ◆ 涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)

企业愿景:

致力于为全球用户提供专业的表面处理整体解决方案。

企业使命:

CIF与我们的员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人,同呼吸,共命运,共同成长,共同发展,共同成就梦想!


详细信息

英国Ossila-Spin Coater

 

Spin Coater技术性能

  • 可在手套箱和通风厨内使用,基座面积仅为22.5x17cm。
  • 无需真空泵、充氮气,节省保养维护费用。
  • 创新设计非真空卡盘式吸盘,基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置,无需抽真空,就能达到较好的旋涂效果。
  • 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面,坚固的不锈钢外壳,钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘,使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
  • 采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制,10个用户自定义协议,每个协议下可设置10个程序,每个程序多50个步骤。
  • 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
  • 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证运行安全。
  • 转速稳定性<2%。
  • 转速120-6000rpm。
  • 定时器1-1000秒。
  • 电源DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz电源适配器。
  • 尺寸220x170x132mm。
  Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻胶涂覆。匀胶机由样品台、滴胶装置和空心电动机组成,其工作原理是,通过在样品台上产生负压将需要旋涂的基底材料吸附在样品台上,光刻胶液滴注在基底材料的表面,通过准确控制电动机的旋转速度,以此来改变离心力的大小,同时通过控制胶液的流量来达到制备薄膜所需的厚度。

 

Spin Coater

 

  匀胶机在旋涂过程中会出现边缘效应,这是由于在旋涂的过程中溶剂的挥发导致表面和边界处光刻胶的浓度和黏度都增大,从而引起边缘位置较中心位置要厚一些,因此基片边缘需要经过去边处理。去边处理包括基片正面和背面的化学去边处理,以及基片正面的光学去边处理。
  Spin Coater动态滴胶是指基片在旋转的过程中将光刻胶滴注到基片的中心位置,通常旋转速度不宜过快( 500/min),动态滴胶可以在保证快速地在基片表面将光刻胶铺开的前提下,减少针孔的产生,也可减少光刻胶的使用量。

  • 左:普通旋涂机上有真空密封环形印迹     右:Ossila非真空式旋涂效果

相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

产地类别 进口
价格区间 5万-10万
应用领域 医疗卫生,环保,食品,生物产业,农业
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :