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单靶磁控溅射仪
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生产厂家郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及*校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
此款单靶磁控溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。
单靶磁控溅射仪 主要特点:
可制备多种薄膜,应用广泛
体积小,操作简便
真空腔室、真空泵组整机模块化设计 ,控制电源为分体式设计,可根据用户实际需要调整购买需求。
可根据用户实际需要选择电源,可以一个电源控制多个靶枪,也可多个电源单一控制靶枪
磁控溅射头:
仪器中安装有3个磁控溅射头,而且都带有水冷夹层
其中一个溅射头与射频电源相连接,主要是溅射绝缘性靶材
另一个溅射头与直流电源相连接,主要溅射导电性靶材
可以单独订购RF连接线作为备用
设备包含一台水冷机,用于靶头冷却
载样台:
载样台可以旋转
载样台高可加热温度
真空腔体:
真空腔体:采用不锈钢制作
观察窗口:
腔体打开方式采用上顶开,使得换靶更加容易
薄膜测厚:
一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装 在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å
LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据