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FR-pRo:晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪

型号
参数
产地类别:进口 价格区间:1-1千 应用领域:能源,电子,交通,航天,电气

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岱美有限公司(下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的性高科技设备分销商,主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了*合作的关系。

自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、中国台湾、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾等地区。
主要产品包括有:EVG晶圆键合设备、EVG纳米压印设备、EVG紫外光刻机、EVG涂胶显影机、EVG硅片清洗机、EVG超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面/球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师,能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、中国台湾、马来西亚、菲律宾及中国大陆(上海、东莞及北京)设立了分公司及办事处,以带给客户更快捷更的销售及维修服务。
我们真诚希望和业界的用户互相合作,共同发展!!
     

详细信息

                        厂家正式*代理商:岱美有限公司

FR-pRo: 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具

晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪

一、产品简介:

     FR-pRo: 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具 是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备,用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层.FR-pRo 是为客户量身定制的,并广泛应用于各种不同的应用 。               FR-pRo:晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪薄膜特性表征工具/光学参数测量/反射率测量/厚度测量/透射率测量,应用于半导体材料厚度测量、非金属材料厚度测量、光刻胶、光学掩膜、介电薄膜、晶圆表面涂层厚度测量、圆晶薄膜厚度测量、硅片表面涂层材料厚度测量,研究透光性材料的工具。

      FR-pRo 可由用户按需选择装配模块,核心部件包括光源,光谱仪(适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统)和控制单元,电子通讯模块
此外,还有各种各种配件,比如:
▪ 用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架,
▪ 用于表征涂层特性的薄膜厚度工具,
▪ 用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒,

▪ 漫反射和全反射积分球

 

通过不同模块组合,终的配置可以满足任
何终端用户的需求
 


 

二、应用领域

o   弯曲基材(衬底)上的/软涂层

o   聚合物涂层、粘合剂等

o   生物医学( parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )

O    半导体生产制造:(光刻胶, 电介质,光子多层结构, poly-Si,Si, DLC )
o     光伏产业
o     液晶显示
o     光学薄膜
o     聚合物
o     微机电系统和微光机电系统
o     基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

 

 

三、FR-pRo:晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具产品特点
o 单点分析(无需预设值)
o 动态快速测量
o 包括光学参数(n和k,颜色)
o 为演示保存视频
o 600 多种的预存材料
o 离线分析
o 免费软件更新 

 

 

四、技术参数


五、
FR-pRo: 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具工作原理

  白光反射光谱(WLRS)测量方法是在一定波长范围内,分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底(在透明或部分/全反射基底上)的堆叠膜层的厚度、光学常数(n&k)等。


 

 

岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业制造商和创新研发机构的设备分销商。

  在21世纪初期,岱美已从我们在香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。

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产品参数

产地类别 进口
价格区间 1-1千
应用领域 能源,电子,交通,航天,电气
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