$item.Name
$item.Name
$item.Name

首页>半导体行业专用仪器>干法工艺设备>等离子体刻蚀设备

FPSEM-icp200e 电感耦合等离子体化学气相沉积系统

型号
FPSEM-icp200e
孚光精仪(中国)有限公司

高级会员8年 

经销商

该企业相似产品

离子体灰化蚀刻系统

在线询价

科研型原子层沉积系统,picosun公司ALD系统

在线询价

ALD系统,共形导电薄膜,原子层沉积

在线询价

COVAP物理气相沉积系统,PVD系统

在线询价

离子束沉积系统,离子shu沉积溅射镀膜

在线询价

电子束蒸发系统,EB-4P电子shu沉积系统

在线询价

反应离子刻蚀系统,等离子体反应li子蚀刻机

在线询价

感应耦合反应离子刻蚀系统,ICP-RIE蚀刻系统

在线询价
飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜

孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。

21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。


孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。

公司品牌释意


孚:信服/conviction

光:光学/optics

精:精密/

precision
仪:仪器/Instruments

我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。


公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学

经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密

光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器

荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)

分子生物学

光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)

医用

光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)

光谱分析

测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)

激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度

测试仪器

光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)

光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)

燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)

无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)

AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜

通用

实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)

服务和应用领域

生物光子学

生命科学

医学成像

制药

食品工程

化学和化工

 

实验室仪器实验室建设

流体力学

工程热物理

燃烧诊断分析

发动机研发

航空航天

地球物理科学

地质和石油勘探


半导体和微电子

 

 

 

 

 

先进制造

新能源

材料科学

仪器科学与技术

-------


客户群体
     
高等院校

*系统研究院所

中国国有企业及其研究院所

外资企业


高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。

 

外方经理定期来华办公指导                                             工作园区一角\

公司电子*门办公一角                                                   员工文化墙一角


用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所

*西安光机所

*安徽光机所

*长春光机所

*合肥物质研究院


*物理研究所

*光电研究院


*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53

清华大学

北京大学

中国科技大学


哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学

天津大学


**********

 

 

 

 

详细信息

电感耦合等离子体化学气相沉积系统是为等离子化学蚀刻系统应用设计的反应离子蚀刻RIE和ICPCVD系统,将反应离子刻蚀RIE和电感耦合等离子体刻蚀ICP两种等离子体化学刻蚀模式相结合.
电感耦合等离子体化学气相沉积系统充分利用了半导体、电介质和金属薄膜受控等离子体刻蚀工艺的所有必要特性。它适用于氯和氟化学。STE ICP200E允许两种类型的等离子体激发:电容(冷却基板电极)和电感(平面螺旋ICP电极)。
电感耦合等离子体化学气相沉积系统改进的小反应器容积和优化的供气系统可以显著提高工艺的均匀性和再现性,并缩短泵送时间。更新的反应器是最佳的蚀刻配方与快速变化的工艺气体(博世过程)。由于可以方便地访问所有内部组件,因此系统的日常维护变得更加容易。特殊的底部电极设计为蚀刻工艺提供高效的氦冷却和晶圆温度控制。
电感耦合等离子体化学气相沉积系统允许在较宽的工艺参数窗口内,将反应离子刻蚀RIE和电感耦合等离子体刻蚀ICP两种等离子体化学刻蚀模式相结合。射频发生器自动匹配,从而确保稳定的等离子燃烧模式在广泛的功率值范围内。系统设计为其配置提供了解决单个客户任务的广泛机会。
电感耦合等离子体化学气相沉积系统
电感耦合等离子体化学气相沉积系统规格参数

工艺过程反应器中的极限压力:<5×10

-6Torr

一次性处理晶圆数量::7个@2'', 4个@3'', 1个×∅200mm, 1个@∅150mm 1个@∅100mm

RIE反应器最大功率:600W   @13.56MHz

ICP发生器最大功率:1200W @13.56MHz

晶圆冷却温度范围:-30℃~80℃

达到预处理真空的时间(<5×10^-6Torr):   不超过25min

磁控管源的最大数量:5×∅200mm 或 6×∅150mm

离子束粒(离子能20~300eV): 可选配

衬底支架倾斜180度:  可选配

蚀刻不均性:+/-2% (从中心位置到边缘,∅100mm)

过程:自动化把晶圆转移到反应器中。





相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :