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OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉系统
- 型号
- OTF-1200X-50S-PE-SL
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉，退火炉，气氛炉，真空感应熔炼炉，箱式炉，手套箱，研磨抛光机，电池测试恒温箱，金刚石线切割机，磁控溅射仪，蒸发镀膜，PECVD设备供应商！
公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。
主要产品：生命科学仪器，化学分析仪器，光学仪器，物性测试仪器及设备，环保设备/流量仪表，行业专用仪器，药物检测仪器，种子仪器，农业和食品仪器，石油仪器，煤炭仪器，测绘仪表，建筑仪器，公路仪器，地质仪器，电工仪器仪表，自动化仪表，气象仪器，环保仪器，电教器材，无线电仪器，小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质，高服务，高信誉”赢得各地市场，各个领域的好评和欢迎。
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详细信息
产品特点：
•一射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;
•可通过炉体滑动达到快速升温和降温；
•可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力;
•可通过工艺调节来控制化学计量；
•可沉积各种材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。
加热炉参数：
•最高温度：1100℃（<30min）：连续工作温度：1000℃：
•PID溫度控制器及30段可編程温控系统，控瀝精度：±1℃；
•输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW：
•炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤維，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
•尺寸：1500mm L'600mm W^1200mm H
•·净重：160 kg
•运输重量：220 kg
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
