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OTF-1200X-PESDSF-50 双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
- 型号
- OTF-1200X-PESDSF-50
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉，退火炉，气氛炉，真空感应熔炼炉，箱式炉，手套箱，研磨抛光机，电池测试恒温箱，金刚石线切割机，磁控溅射仪，蒸发镀膜，PECVD设备供应商！
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主要产品：生命科学仪器，化学分析仪器，光学仪器，物性测试仪器及设备，环保设备/流量仪表，行业专用仪器，药物检测仪器，种子仪器，农业和食品仪器，石油仪器，煤炭仪器，测绘仪表，建筑仪器，公路仪器，地质仪器，电工仪器仪表，自动化仪表，气象仪器，环保仪器，电教器材，无线电仪器，小型机械等。并且提供与生物技术相关的实验室科研仪器设备、实验室耗材与试剂、实验室设计、规划、改建等服务。公司以“高品质，高服务，高信誉”赢得各地市场，各个领域的好评和欢迎。
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详细信息
手套箱特点：
•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；
•两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!
加热炉参数：
•连续工作温度：1100℃
•两个炉体都可设置30段升降温程序
•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
•电源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
手套箱参数:
•带有除水系统：保持水含量<2ppm
•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接
射频电源：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
•PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸：
炉体尺寸：1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
