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微型PECVD系统

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:化工,能源,电子 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃
上海添时科学仪器有限公司

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紫外可见分光光度计,原子荧光光度计,原子吸收分光光度计,紫外分光光度计,气相色谱仪,液相色谱仪,电子天平,旋光仪,熔点仪

上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

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公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




详细信息

    等离子源:

    等离子体射频电源:110V或220VAC,50/60Hz,<100W

    输出频率:13.56MHz

    三档射频功率大小:7.2W.10.5W和18W(可调节)

    腔体尺寸:3"ODx2.7"IDx16"L

    仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2torr(用机械泵)

    滑动法兰:

    •有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。

    样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

    •加热圈尺寸:50mmODx40mmIDx70mm,可使样品达到的温度为400℃

    •加热圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩,以减小热量损失

    •温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃

    输入电源:AC220V

image.png 

    两通道混气系统:

    •混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

    •三个机械压力表:-0.1-0.15MPa,

    •混气箱上安装有304不锈钢针阀

    •配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

    •混气箱尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13.4"x12"x7")!

    净重:141bs.

    真空和气体接口:

    标准的真空配置有

    •一套3”的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

    •一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

    •一个数字式真空显示计

    •等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2,Ar,Air,以及各种混合性气体。

    •可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

    (注意:不可通入易燃易爆性气体)

    真空泵:

    •仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min,

    进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

    移动架:

    设备中配有—600Lx600Wx600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

    仪器尺寸:

    •等离子源:8.5"Hx10"Wx8"D

    •温控盒:4"Hx10"Wx8"D

    移动架:600x600x600mm

    重量:

    701b(包含真空泵)

    质保期:

    一年质保期(不包含石英管和密封圈)

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 化工,能源,电子
温控方面 采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃
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详询客服 : 0571-87858618
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